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MEMS 一氧化碳/氫氣傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
傳感器特點
低功耗
高靈敏度
MEMS工藝,結(jié)構(gòu)堅固
簡單的驅(qū)動電路
快速的響應(yīng)恢復(fù)特性
主要應(yīng)用
檢測氣體種類：
一氧化碳（CO）：10-5000ppm
氫氣（H2）：10-500ppm
適用于手機(jī)等電子產(chǎn)品、家庭、商業(yè)等不用場合的一氧化碳或煤氣泄漏監(jiān)測裝置、氣體撿漏儀、防火/安全探測系統(tǒng)
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